Augerelektronspektroskopi (AES)
Ytanalys med AES används för kemisk kartläggning av tunna ytskikt eller små partiklar. Både informationsdjup och lateralupplösning är på nanometernivå vilket innebär att upplösningen är ca tusen gånger högre än för EDX. Med hjälp av en argonjonkanon är det möjligt att göra kemiska djupprofiler, dvs. att bestämma den kemiska sammansättningen som funktion av avståndet från ytan. AES-instrumentet är även utrustat med en in situ-brott enhet som gör det möjligt att slå av provstavar i ultrahögvakuum och analysera brottytan utan att den oxiderats eller kontaminerats genom atmosfärens inverkan. Detta är ett värdefullt verktyg för att t.ex. identifiera försprödande korngränssegring.
Typiska användningsområden:
- Bestämning av ytrenhet på medicinska implantat
- Analys av små partiklar (<0.1 µm)
- Kemisk karakterisering och djupprofilering av oxidfilmer/beläggningar
Physical electronics (PHI) 700Xi Scanning Auger Nanoprobe.
